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低能离子散射谱 Qtac-100

  利用具有特定能量的惰性气体离子入射到样品表面,与样品表面的原子进行弹性碰撞。根据弹性散射理论,散射离子的能量分布与表面原子的原子量相关。通过对散射离子能量进行分析,就可以得到表面元素组分及表面结构的信息。低能离子散射谱所获得的信息来自样品的最表层,因而是研究表面成分、表面结构以及表面过程的强有力的手段。

  ION-TOF公司的Qtac-100型低能离子散射谱仪采用新型离子收集器,相比传统LEIS系统,灵敏度提高3000倍!

  低能离子散射谱(LEIS)的一个显著特点就是其超高的表面灵敏度和良好的定量性。相对于其他常见的表面分析手段,例如XPS 、 AES ,它最大的特点是可以把信息深度缩小到单原子层厚度。配合上深度剖析,则可以实现从表面单原子层成分分布成像,到样品深度方向成分变化等多种测量。